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OCT厚さ測定センサー

薄膜から厚板まで! 大きな計測レンジ!
待望のUSB対応WLI2000シリーズ販売開始!!

日本イリセンは千葉大学(椎名達雄准教授:大学院融合科学研究科)との共同開発により、医療分野で利用が進んでいるOCT(Optical Coherent Tomography)の簡素化と低価格化を実現しました。実用的な工業用途センサーとして、樹脂板やフィルムの溶着検査や欠陥検査など、幅広い 検査分野や膜厚測定・変位計測などに適用が可能です!!

なお、本製品は2019年1月より(株)精光技研に移管しました。製品に関するお問い合わせは下の「お問合せボタン」にてお願いいたします。

OCT厚さセンサー

OCT厚さ測定センサー 多チャンネル測定システム

OCT厚さセンサー

光学干渉膜厚モニター

1nmの分解能で10nm~50μm範囲の薄膜膜厚を非接触で測定できます。
専用ソフトウェアには、一般的に使用される材料(レジスト、酸化物、窒化物、ポリイミド、セルギャップなど)の物性値はデータベース化されています。
Avantes社の分光器システムは、豊富なラインアップを各種応用に組合せが可能で、膜厚モニター以外にも色度測定、発光特性、吸収・透過測定、あるいはLEDの特性評価などに利用できます。

光学干渉膜厚モニター
光学干渉膜厚モニター
光学干渉膜厚モニター
仕様
  • 分光器:Grating UA(200nm~1100nm)、100μm slit
  • 計測範囲:10nm~50μm
  • 分解能:1nm
  • 光源:重水素ランプ、ハロゲンランプ
  • 光ファイバー:ケブラー鎧装、SMA905接続

薄膜密着強度測定装置

薄膜の剥離強度を定量的に計測することが可能です!!
デモ計測、受託計測いたします

薄膜密着強度測定装置
特徴
  • Moduleを交換することにで多様な測定可能
  • 定量的な測定可能
  • 密着力は約700kg/cm2まで測定可能
  • 最大引張り荷重は100kgまで可能
    オプションで200kgまで可能
  • 専用ソフト使用で容易に測定条件の設定と
    測定結果表示可能
測定対象
  • カラーフィルター、レジスト、Low-k膜、薄膜太陽電池、酸化膜、メッキ膜、DLC膜等の薄膜密着強度
  • 複合基板の密着強度
  • コーティング引き倒し強度
  • 固定されたダイ等のせん断強度
  • フレキシブル基板の剥離強度

ロータリー式膜厚センサー(輸出 販売)

成膜プロセス効率を改善する回転式膜厚センサーを中国向け販売開始
現地工場の装置稼働率向上によって大幅コストダウンが実現できます!!

多層膜の成膜工程において、通常は1つの層を成膜するたび、振動子交換のため チャンバーの真空状態を開放する必要があります。
本装置を組み込むことにより、水晶振動子は順次スイッチングされ、連続成膜が可能となるため、 大幅な生産効率向上が計れます。

ロータリー式膜厚センサー
※フォトテクニカ製
ロータリー式膜厚センサー
  • 水晶振動子:6枚
  • 水晶振動子寸法:約14mm(径)
  • 本体取付孔(径):約51mm
  • センサー全長:RSH-600/424mm、RSH-601/574mm
  • 電源:交流115V(50mA)あるいは直流24V(20mA)
  • スイッチング機構:空圧方式(必要空気圧 4kg/cm2定格)
  • 冷却方式:水冷方式(必要水量水圧 5L/分、2kg/cm2)
  • 水、空気コネクター:1/4インチ(3箇所)、プラスチック管用
  • 動作環境:最高300℃(水冷時、標準ヘッドカバー付き)/最高400℃ (水冷時、銅製ヘッドカバー付き)
  • 本体重量:RSH-600/約3.8kg、RSH-601/約4.5kg
日本イリセン株式会社

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